А 22 Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : [учебное пособие для приборостроительных спец. вузов / А. А. Сазонов и др.] ; под ред. А. А. Сазонова. - Москва : Высш. шк., 1991. - 333, [1] с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 332 (12 назв. ). - 11000 экз.. - ISBN 5-06-000731-6 (в пер.) : 1.60 р. Рубрики: Микроэлектронные схемы ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |