Б 43 Белов, Игорь Александрович. Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем : монография / И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб. - Ленинград : Политехника, 1991. - 287, [1] с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 283-286 (77 назв.). - 2000 экз.. - ISBN 5-7325-0001-4 (в пер.) : 5 р. Перед вып. дан. 3-й авт.: Шуб Леонид Исаакович Рубрики: Полупроводниковые приборы--Производство--Гидродинамические и исследования Микроэлектронные схемы интегральные--Производство--Гидродинамические и исследования Доп.точки доступа: Шеленшкевич, Владимир Александрович; Шуб, Леонид Исакович ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |