32.844.1я72
   В36


    Верховский, Евгений Ильич.
    Лазерная технология в производстве интегральных микросхем [Текст] : [учебное пособие для ПТУ] / Е. И. Верховский. - Москва : Высш. шк., 1990. - 54 с. : ил. ; 20.5 см. - 12400 экз.. - ISBN 5-06-001078-3 : 0.10 р.
ББК 32.844.я72
Рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные--Производство.
   Микроэлектронные схемы интегральные--Лазерная обработка.


~Экземпляры всего: 1
ТО (1)
Свободны: ТО (1)