М74 Моделирование технологических процессов микроэлектроники [Текст] : научное издание / ред. Т. М. Махвиладзе. - Москва : Наука, 1992. - 120с. : ил. ; 25см. - 470 экз.. - ISBN 5-0-006867-5 : 33р.80 р. Рубрики: Микрорадиоэлектронная аппаратура. Микроэлектроника Доп.точки доступа: Кацюба, О.А.; Тюмиров, Д.К.; Жданов, А.И.; Махвиладзе, Т.М. \ред.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |