Л 45 Ленинградский институт авиационного приборостроения. Труды [Текст] : сб. науч. тр. / ЛИАП. Вып. 181 : Физические методы и средства неразрушающего контроля в производстве микроэлектронной аппаратуры и ее компонентов / науч. ред. В. А. Лопухин. - Ленинград : ЛИАП, 1986. - 133 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр. в конце ст. - 600 экз.. - 1.20 р.
Кл.слова (ненормированные): ИЗДЕЛИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ -- ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ -- ИНДУКТИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА -- ФОТОШАБЛОНЫ Доп.точки доступа: Лопухин, В. А. \науч. ред.\; Ленинградский институт авиационного приборостроения ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |