Б 24 Барил, Михаил Абрамович. Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем [Текст] : научное издание / М. А. Барил, В. К. Самойликов. - Москва : Энергия , 1978. - 112 с. : ил. ; 20 см. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры ; вып. 12). - Библиогр.: с. 110. - 7 000 экз.. - 0.35 р.
Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые приборы -- микроэлектронные схемы интегральные Доп.точки доступа: Самойликов, Вячеслав Константинович ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |