К 93 Курносов, А. И. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [Текст] : учебное пособие для вузов / А. И. Курносов, В. В. Юдин. - 2-е изд., перераб. и доп. - Москва : Высшая школа, 1979. - 367 с. : ил. ; 23см. - 18000 экз.. - (в пер.) : 1.20 р. Содержание: Особенности полупроводникового производства Механическая обработка полупроводниковых материалов Химическая и электрохимическая обработка полупроводников Фотолитография и фотошаблоны Эпитаксия Диффузия Ионная имплантация Конденсация в вакууме Методы защиты поверхности p-n-переходов Сборка и герметизация полупроводниковых приборов и интегральных микросхем Технология изготовления структур на полупроводниковых соединениях Технология изготовления биполярных интегральных микросхем Технология МДП интегральных микросхем
Доп.точки доступа: Юдин, В. В. ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |