Б 82 Борисенко, Александр Сергеевич. Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств [Текст] : [учеб. для сред. спец. учеб. заведений] / А. С. Борисенко, Н. И. Бавыкин. - Москва : Машиностроение, 1983. - 319 с. : ил. ; 22 см. - Загл. на корешке : Производство микроэлектронных устройств. - Библиогр.: с. 318 - 319. - 14 000 экз.. - (в пер.) : 1 р.
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные схемы интегральные -- производство Доп.точки доступа: Бавыкин, Николай Иванович ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |