О-62 Оптические методы контроля интегральных микросхем [Текст] : состояние и перспективы совершенствования / Ю. С. Вартанян, Н. С. Розиньков, Л. Г. Дубицкий [и др.] ; под ред. Л. Г. Дубицкого. - Москва : Радио и связь, 1982. - 134 с. : ил ; 20 см. - (Массовая библиотека инженера. Электроника ; вып. 32). - Библиогр.: с. 126 - 133 (161 назв.). - 7 000 экз.. - 0.35 р.
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные схемы интегральные -- производство -- технический контроль -- оптические методы Доп.точки доступа: Вартанян, Юрий Самсонович; Розиньков, Н. С.; Дубицкий, Лев Григорьевич; Дубицкий, Лев Григорьевич \под ред.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |