П 18 Парфенов, Олег Дмитриевич. Технология микросхем [Текст] : учеб. пособие для высш. учеб. заведений / О. Д. Парфенов. - Москва : Высшая школа, 1986. - 320 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр. : с. 317. - Предм. указ. : с. 318-319. - 35 000 экз.. - (в пер.) : 1.10 р.
Кл.слова (ненормированные): гибридные пленочные микросхемы -- микросхемы -- полупроводниковые интегральные микросхемы -- пособия для вузов -- сборка микросхем -- толстопленочные микросхемы -- фотолитография -- электроника -- эпитаксия Аннотация: В книге рассмотрены: технология полупроводниковых интегральных микросхем, гибридных пленочных микросхем, сборка микросхем. ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |