6П2.151
Л 64


    Литовченко, Владимир Григорьевич.
    Основы физики микроэлектронных систем металл - диэлектрик - полупроводник [] : научное издание / В. Г. Литовченко, А. П. Горбань ; Акад. наук УССР, Ин-т полупроводников. - Киев : Наукова думка, 1978. - 316 с. : ил. ; 23см. - Список лит.: с. 286 - 313. - 2550 экз.. - (в пер.) : 3.30 р.
    Содержание:
Нанесение диэлектрических пленок на полупроводниковые подложки
Методы измерения параметров структур МДП
Исследование структуры и электрических свойств поверхностных диэлектрических слоев в системах ДП
Кристаллоструктура и электрические свойства границы раздела двухслойной системы диэлектрик - полупроводник
Генерационные явления и процессы переноса в структурах МДП
Влияние освещения на характеристики системы МДП. Фотоемкостный эффект
Гетерогенность электрофизических характеристик системы МДП и методы ее определения
Приборы с зарядовой связью
Приборные и интегральные системы, использующие структуры МДП и ДП
УДК
Рубрики: Радиоаппаратура (радиоэлектронная аппаратура)--Микроэлектронные схемы
Кл.слова (ненормированные):
МДП-структуры


Доп.точки доступа:
Горбань, Анатолий Петрович; Академия наук Украинской ССР. Институт полупроводников
~Экземпляры всего: 1
ТО (1)
Свободны: ТО (1)