6П2.151
М 31


    Масленников, П. Н.
    Оптимизация структуры линий полупроводникового производства при их проектировании [] / П. Н. Масленников, В. В. Сысоев. - Воронеж : издательство Воронеж. университета, 1979. - 108 с. : ил. ; 21см. - 500 экз.. - 0.70 р.
УДК
Рубрики: Полупроводники--электротехника


Доп.точки доступа:
Сысоев, В.В.
~Экземпляры всего: 1
ТО (1)
Свободны: ТО (1)