П 36 Пичугин, Игорь Геннадиевич. Технология полупроводниковых приборов [Текст] : учеб. пособие для вузов по спец. "Полупроводники и диэлектрики" и "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы" / И. Г. Пичугин, Ю. М. Таиров. - Москва : Высш. шк., 1984. - 288 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 287 (15 назв.). - 23 000 экз.. - (в пер.) : 1.10 р. Содержание: Механическая обработка полупроводниковых материалов Химическая и электрохимическая обработка поверхности полупроводников Фотохимические процессы в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем Эпитаксиальные процессы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем Получение электронно-дырочных структур методом диффузии Получение электронно-дырочных структур методом ионного легирования Омические контакты и контактные системы Стабилизация и защита поверхности полупроводниковых приборов
Доп.точки доступа: Таиров, Юрий Михайлович ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |