П 37 Плазменная технология в производстве СБИС [Текст] : материал технической информации / [Толливер Д., Новицки Р., Хесс Д. и др.] ; под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна ; пер. с англ. Ю. М. Золотарева, В. В. Юдина ; под ред. Е. С. Машковой. - Москва : Мир, 1987. - 469 с. : табл., ил. ; 22 см. - Авторы указаны на обороте титульного листа. - Библиография в конце глав. - Предметно-именной указатель: с. 463-466. - 6 250 экз.. - (в пер.) : 3.40 р.
Кл.слова (ненормированные): СБИС -- ТРАВЛЕНИЕ -- ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ Доп.точки доступа: Айнспрук, Норман \ред.\; Браун, Д. \ред.\; Золотарев, Ю. М. \пер.\; Юдин, В. В. \пер.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |