М 74 Мокеев, Олег Константинович. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учебное пособие для технических училищ / О. К. Мокеев, А. С. Романов. - Москва : Высшая школа, 1979. - 272 с. : рис., табл. ; 20.5 см. - 9000 экз.. - (в пер.) : 0.60 р.
Доп.точки доступа: Романов, Александр Сергеевич ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |