М 80 Моряков, Олег Сергеевич. Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства [Текст] : учебник для средних проф.-техн. училищ / О. С. Моряков. - 2-е изд., перераб. и доп. - Москва. : Высшая школа, 1976. - 319 с. : рис. ; 23см. - 12 000 экз.. - (в пер.) : 0.65 р. Содержание: Общие сведения об организации производства полупроводниковых приборов Оборудование для обработки полупроводниковых материалов Термическое оборудование для изготовления электронно-дырочных переходов в газовых средах Оборудование для наращивания эпитаксиальных пленок и электронно-ионного легирования полупроводников Оборудование для проведения процессов фотолитографии Сведения из вакуумной техники. Вакуумное и вакуумно-термическое оборудование Оборудование для химической и электрохимической обработки полупроводниковых материалов Оборудование для изготовления корпусов полупроводниковых приборов Оборудование для сборки полупроводниковых приборов Оборудование для герметизации и контроля герметичности корпусов полупроводниковых приборов Оборудование для механических и климатических испытаний полупроводниковых приборов Оборудование для выполнения заключительных операций изготовления полупроводниковых приборов
~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |