М 80 Моряков, Олег Сергеевич. Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве [Текст] : учебник для сред. проф.-техн. училищ / О. С. Моряков. - 2-е изд., перераб. и доп. - Москва : "высшая школа ", 1980. - 181 с. : ил. ; 22.5см. - 5500 экз.. - 0.30 р.
Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые приборы -- производство ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |