П 78 Проблемы литографии в микроэлектронике [Текст]. Т. 8 / Труды института общей физики ; Труды ИОФАН. - Москва : Наука , 1987. - 149 с. : ил. ; 24 см. - Библиогр. в конце ст. - 1 600 экз.. - 1.90 р.
Доп.точки доступа: Махвиладзе, Т.М. \ред.\; Прохоров, А.М. \ред.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |