Г 46 Гиваргизов, Евгений Инвиевич. Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники [Текст] : научное издание / Е. И. Гиваргизов ; авт. предисл. Е. П. Велихов. - Москва : Наука , 1988. - 176 с. : ил. ; 20 см. - (Проблемы науки и технического прогресса). - Библиогр.: с. 158 - 176. - 3700 экз.. - ISBN 5-02-013845-2 : 1.90 р.
Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые пленки -- получение -- эпитаксия -- полупроводниковые материалы -- микроэлектроника Доп.точки доступа: Велихов, Е. П. \авт. предисл.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |