Т 38 Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия [Текст] : научное издание / И. М. Скворцов [и др.]. - Москва : Энергия, 1978. - 136 с. : ил. ; 22.5см. - 3000 экз.. - 0.50 р.
Кл.слова (ненормированные): ГАЗОРАСПРЕДЕЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ -- ГАЗОВОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- АВТОЛЕГИРОВАНИЕ -- ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СЛОИ -- ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ РАВНОВЕСИЕ Доп.точки доступа: Скворцов, Игорь Михайлович; Лапидус, Илья Иосифович; Орион, Борис Валентинович; Кожитов, Лев Васильевич; Аникин, Виктор Константинович ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |