Т 38 Технология толстых и тонких пленок [Текст] : сборник статей / под ред. А. Рейсмана, К. Роуза, пер. с англ., с предисл. А. К. Катмана. - Москва. : Мир , 1972. - 174 с. : ил. ; 27см. - (Наука для техники. Современная радиоэлектроника). - Пер. изд. : Thick and thin films for electronic applications. - 520 экз.. - 2.06 р.
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные схемы -- материалы -- производство -- сборники Доп.точки доступа: Рейсман, Арнольд \под ред.\; Роуз, К. \под ред.\; Катман, А. К. \пер. с англ., авт. предисл.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |