Ш 44 Шелпакова, Ирина Рудольфовна. Послойный анализ материалов электронной техники [Текст] : научное издание / И. Р. Шелпакова, И. Г. Юделевич, Б. М. Аюпов ; отв. ред. Ю. А. Карпов ; Акад. наук СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т неорган. химии. - Новосибирск : Наука. Сибирское отделение, 1984. - 181 с. : ил. ; 22.5см. - Библиогр.: с. 159 - 179. - 1450 экз.. - (в пер.) : 2.10 р.
Кл.слова (ненормированные): электронные приборы -- производство -- материалы -- полупроводники -- химический анализ Доп.точки доступа: Юделевич , Г.И.; Юделевич, Иосиф Гершевич; Аюпов, Борис Менгареевич; Карпов, Ю. А. \отв. ред.\; Академия наук СССР. Сибирское отделение; Институт неорганической химии ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |