Д 18 Данилин, Борис Степанович. Магнетронные распылительные системы [] : материал технической информации / Б. С. Данилин, В. К. Сырчин. - Москва : Радио и связь, 1982. - 73 с. : ил. ; 21см. - Библиогр.: с. 69 - 72. - 3100 экз.. - 0.25 р. Рубрики: Радиоаппаратура (радиоэлектронная аппаратура) Кл.слова (ненормированные): пленки тонкие -- получение -- распылители магнетронные Доп.точки доступа: Сырчин, Владимир Кимович ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |