И 20 Иванов, Роберт Дмитриевич. Катодный метод создания пленочных элементов микросхем [] : материал технической информации / Р. Д. Иванов. - Москва : Энергия , 1972. - 111 с. : ил. ; 19см. - (Библиотека радиотехнолога ; вып.1). - Библиогр.: с. 105 - 109 (101). - 7500 экз.. - 0.32 р.
Кл.слова (ненормированные): пленки тонкие -- получение -- микроэлектронные схемы -- производство ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |