И 62 Инженерный центр микроэлектроники [] : патент или другой охранный документ / В.С.Михалевич, А.А.Морозов, А.В.Палагин. - Киев : Техника, 1987. - 53 с. ; 16см. - Библиогр.: с. 52 (10). - 4000 экз.. - 0.10 р.
Аннотация: Отражен опыт тесного взаимодействия ученых Ин-та кибернетики им.В.М.Глушкова АН УССР с организациями и предприятиями промышленности по переспективным направлениям науки и техники, по совершенствованию технологии выпуска интегральных схем, созданию гибкого автоматизированного производства сверхбольших интегральных схем на базе цехов-автоматов, что позволит уменьшить трудоемкость и энергоемкость производства. Рассчитан на инженерно-технических и научных работников. ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |