Д 18 Данилин, Борис Степанович. Вакуумная техника в производстве интегральных схем [] / Б. С. Данилин. - Москва : Энергия , 1972. - 256 с : ил., рис., схемы ; 22см. - Библиогр.: с. 245-254(59наз). - 9000 экз.. - (в пер.) : 0.89 р. Рубрики: Машиностроение ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |