В 24 Введение в фотолитографию [] : научное издание / Е. С. Боков [и др.] ; под ред. В. П. Лаврищева. - Москва : Энергия, 1977. - 400 с : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 379-397. - 8000 экз.. - (в пер.) : 1.47 р. Рубрики: Электроника--Фоторезисторы Кл.слова (ненормированные): ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ФОТОШАБЛОНЫ -- ВОСПРОИЗВЕДЕНИЕ ИЗОБРАЖЕНИЙ -- РЕНТГЕНОВСКИЕ ЛУЧИ -- ФОТОРЕЗИСТОРЫ Аннотация: Освещены основные проблемы фотолитографии и оценены перспективы ее развития. Рассмотрены свойства фоторезисторов, процессы образования фоторезисторных покрытий. Доп.точки доступа: Боков, Е. С.; Корсаков, В. С.; Мишачев, В. И.; Лубашевская, А. В.; Лаврищев, В. П. \ред.\ ~Экземпляры всего: 1 ТО (1) Свободны: ТО (1) |