М 80 Моро, Уэйт. Микролитография. Принципы, методы, материалы : в 2 частях. Часть 2 / У. Моро; [перевод с английского Д.Ю. Зарослова, К.Я. Мокроусова, В.А. Никитаева]. - Москва : Мир, 1990. - 632 с. : ил. ; 21см. - 6700 экз.. - ISBN 5-03-001717 (в пер.) : 5 р. Рубрики: Микрорадиоэлектронная аппаратура Доп.точки доступа: Зарослов, Д.Ю. \пер.\; Мокроусов, К.Я. \пер.\; Никитаев, В.А. \пер.\; Тимеров, Р.Х. \ред.\; Валиев, К.А. \авт. предисл.\ ~Экземпляры всего: 2 ТО (1), АБ (1) Свободны: ТО (1), АБ (1) |