Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32.844.1/Р86 Автор(ы) : Румак, Николай Владимирович, Хатько, Вячеслав Владимирович Заглавие : Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике Выходные данные : Минск: Навука i тэхнiка, 1990 Колич.характеристики :190, [1] с.: ил.; 20 см Коллективы : АН БССР, Физ.-техн. институт Примечания : Библиогр.: с. 181-189 (225 назв.) ISBN, Цена 5-343-00540-3: 1р.40к., р. ББК : 32.844.1 Предметные рубрики: Диэлектрические пленки-- Получение МДП-структуры Микроэлектронные схемы интегральные-- Производство Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Хатько, Вячеслав Владимирович; АН БССР, Физ.-техн. институт