Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32.859/М80 Автор(ы) : Моряков, Олег Сергеевич Заглавие : Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства : [Учебник для сред. проф. -техн. училищ] Выходные данные : Москва: Высш. школа, 1989 Колич.характеристики :239с.: ил.; 21см 4 ISBN, Цена 5-06-000300-0: 45, р. ББК : 32.859 Предметные рубрики: Промышленная электроника Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1)