Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32.844.1/П52 Автор(ы) : Полтавцев, Юрий Гаврилович Заглавие : Технология обработки поверхностей в микроэлектронике : научное издание Выходные данные : Киев: Тэхника, 1990 Колич.характеристики :206с.: ил.; 21см3 ISBN, Цена 5-335-00572-6: 70, р. ББК : 32.844.1 Предметные рубрики: Микрорадиоэлектронная аппаратура. Микроэлектроника Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1)