Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32.844.1/П78 Заглавие : Проблемы микроэлектронной технологии : научное издание Выходные данные : Москва: Наука, 1992 Колич.характеристики :100с.: ил.; 25см Серия: Труды ФТИАН; Т.4. ISBN, Цена 5-02-006868-3: 25р.60, р. ББК : 32.844.1 Предметные рубрики: Микрорадиоэлектронная аппаратура. Микроэлектроника Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Великов, Л. В. \ред.\