Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П3.2/Б 69 Автор(ы) : Блинов, Игорь Григорьевич, Кожитов, Лев Васильевич Заглавие : Оборудование полупроводникового производства : учеб. пособие Выходные данные : Москва: Машиностроение, 1986 Колич.характеристики :264 с.: ил.; 21 см. Серия: Для вузов Цена : 1.00, 1, р. ББК : 6П3.2 Предметные рубрики: Электронная промышленность-- Оборудование-- Учебники и пособия Полупроводниковые приборы-- Производство -- Учебники и пособия Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Кожитов, Лев Васильевич