Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/А 44 Автор(ы) : Акчурин, Рауф Хамзинович Заглавие : Технология полупроводниковых материалов : учеб. пособие Выходные данные : Москва: МИХМ, 1985 Колич.характеристики :65 с.: ил.; 20 см Коллективы : Московский институт химического машиностроения Примечания : Библиогр.: с. 65 (8 назв.) Цена : 0.12, 0.12, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: Полупроводниковые приборы Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нормальная направленная кристаллизация--зонная плавка--жидкофазная эпитаксия--газофазная эпитаксия--вытягивание монокристаллов из расплава Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Московский институт химического машиностроения