Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/К 93 Автор(ы) : Курносов, Анатолий Иванович, Юдин, Владимир Васильевич Заглавие : Технология производства полупроводниковых приборов : учебное пособие Выходные данные : Москва: Высшая школа, 1974 Колич.характеристики :400 с.: ил.; 23см Цена : 1.02, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: Электроника-- Полупроводниковые приборы. Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): фотолитография--электрохимическая обработка полупроводников--метод сплавливания--метод диффузии--метод эпитаксии--элионика Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Юдин, Владимир Васильевич