Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/К 93 Автор(ы) : Курносов, Анатолий Иванович Заглавие : Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем : учеб. пособие для сред. проф.-техн. училищ . -2-е изд., перераб. и доп. Выходные данные : Москва: Высшая школа, 1980 Колич.характеристики :327 с.: ил., табл.; 23см Цена : 0.80, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: Электроника-- Полупроводниковые приборы-- микросхемы Географич. рубрики: Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): напівпровідникові матеріали--полупроводниковые материалы--напівпровідникові епітаксиальні структури--полупроводниковые эпитаксиальные структуры--абразивні матеріали--абразивные материалы--алмазні порошки--алмазные порошки--полірувальні матеріали--полировальные материалы--хімічні матеріали--химические материалы--фотолітографія--фотолитография--фоторезистори--фоторезисторы--фотошаблони--дифузанти--диффузанты--електродні матеріали--электродные материалы--компаунди--епоксидні смоли--эпоксидные смолы--припої--припои--асбестові матеріали--асбестовые материалы--графіт--графит--гази--газы--електроліти--электролиты--провідність напівпровідникових матеріалів--проводимость полупроводниковых материалов--контроль якості матеріалів--контроль качества материалов--кінематична в'язкість--кинематическая вязкость Аннотация: Электрофизические свойства материалов, используемых при производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) |