Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 6П2.151/Б 28
Автор(ы) : Батавин, Виталий Васильевич, Концевой, Юлий Абрамович, Федорович, Юрий Вячеславович
Заглавие : Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур
Выходные данные : Москва: Радио и связь, 1985
Колич.характеристики :264 с.: рис., табл.; 22 см
Серия: Измерения в электронике
Примечания : Библиография: с.251-262
Цена : 1.10, р.
УДК : 6П2.151
Предметные рубрики: Полупроводники-- Параметры-- Измерение
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводниковые материалы--эпитаксиальные слои--электрофизические параметры--структурные параметры--контрольно-измерительные приборы
Экземпляры :ТО(1)
Свободны : ТО(1)

Доп.точки доступа:
Концевой, Юлий Абрамович; Федорович, Юрий Вячеславович