Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/Л 38 Автор(ы) : Смирнов, Леонид Степанович, Соловьев, Сергей Петрович, Стась, Владимир Федосеевич, Харченко, Вячеслав Александрович Заглавие : Легирование полупроводников методом ядерных реакций : монография Выходные данные : Новосибирск: Наука Сибирское отделение, 1981 Колич.характеристики :181 с.: ил.; 22.5см Коллективы : АН СССР. Сибирское отделение. Институт физики полупроводников Цена : 1.90, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: Электроника-- Полупроводниковые приборы Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): ядерное легирование полупроводников--радиационные дефекты в полупроводниках--ядерное легирование кремния--полупроводниковые приборы Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Смирнов, Леонид Степанович; Соловьев, Сергей Петрович; Стась, Владимир Федосеевич; Харченко, Вячеслав Александрович; Смирнов, Леонид Степанович \отв. ред.\; АН СССР. Сибирское отделение. Институт физики полупроводников