Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/Б 88 Автор(ы) : Броудай, Ивор, Мерей, Джулиус Заглавие : Физические основы микротехнологии Параллельн. заглавия :The Physics of Microfabrication Выходные данные : Москва: Мир , 1985 Колич.характеристики :496 с.: рис., табл.; 22 см Примечания : Прил.: с. 460-664. - Лит.: с. 465-483. - Предм. указ.: с. 484-492 Цена : 2.60, 2.60, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: Микроэлектроника-- Мікросхемотехніка Географич. рубрики: Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронные приборы--мікроелектронні прилади--тонкие пленки--тонкі плівки--литографические методы--літографічні методи--пучки частиц--пучки частин--изготовление микросхем--виготовлення мікросхем--микроскопия--мікроскопія--микрозонды--мікрозонди--лазерное сканирование--лазерне сканування--легироание--легування Аннотация: Технологические процессы микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг. Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Мерей, Джулиус; Володин, В. А. \пер.\; Першенков, В. С. \пер.\; Подлепецкий, Б. И. \пер.\; Шальнов, А. В. \ред.\