Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/В 15 Автор(ы) : Валиев, Камиль Ахметович, Раков, Александр Васильевич Заглавие : Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике Выходные данные : Москва: Радио и связь, 1984 Колич.характеристики :349 с.: рис., табл.; 22 см Примечания : Библиография: с. 338-347 Цена : 2.80, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: Электронные пучки-- Формирование Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): субмикронная литография--электронные пучки--электроны--ионно-лучевая литография--фотолитография Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Раков, Александр Васильевич