Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/П 18 Автор(ы) : Парфенов, Олег Дмитриевич Заглавие : Технология микросхем : учеб. пособие для высш. учеб. заведений Выходные данные : Москва: Высшая школа, 1986 Колич.характеристики :320 с.: ил.; 22 см Примечания : Библиогр. : с. 317. - Предм. указ. : с. 318-319 Цена : 1.10, 1.10, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: Радиоэлектроника-- Электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): гибридные пленочные микросхемы--микросхемы--полупроводниковые интегральные микросхемы--пособия для вузов--сборка микросхем--толстопленочные микросхемы--фотолитография--электроника--эпитаксия Аннотация: В книге рассмотрены: технология полупроводниковых интегральных микросхем, гибридных пленочных микросхем, сборка микросхем. Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1)