Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/Л 64 Автор(ы) : Литовченко, Владимир Григорьевич, Горбань, Анатолий Петрович Заглавие : Основы физики микроэлектронных систем металл - диэлектрик - полупроводник : научное издание Выходные данные : Киев: Наукова думка, 1978 Колич.характеристики :316 с.: ил.; 23см Коллективы : Академия наук Украинской ССР. Институт полупроводников Примечания : Список лит.: с. 286 - 313 Цена : 3.30, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: Радиоаппаратура (радиоэлектронная аппаратура)-- Микроэлектронные схемы Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мдп-структуры Содержание : Нанесение диэлектрических пленок на полупроводниковые подложки ; Методы измерения параметров структур МДП ; Исследование структуры и электрических свойств поверхностных диэлектрических слоев в системах ДП ; Кристаллоструктура и электрические свойства границы раздела двухслойной системы диэлектрик - полупроводник ; Генерационные явления и процессы переноса в структурах МДП ; Влияние освещения на характеристики системы МДП. Фотоемкостный эффект ; Гетерогенность электрофизических характеристик системы МДП и методы ее определения ; Приборы с зарядовой связью ; Приборные и интегральные системы, использующие структуры МДП и ДП Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Горбань, Анатолий Петрович; Академия наук Украинской ССР. Институт полупроводников