Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.385.1/М 31 Автор(ы) : Маслов, Алексей Андреевич Заглавие : Технология и конструкции полупроводниковых приборов : производственно-практическое издание Выходные данные : Москва: Энергия, 1970 Колич.характеристики :296 с.: ил. Цена : 1.19 р. ГРНТИ : 47.14.07 УДК : 621.385.1 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): механическая обработка полупроводников--эпитаксиальные пленки--гетеропереходы--надежность полупроводниковых приборов