Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/П 37 Заглавие : Плазменная технология в производстве СБИС : материал технической информации Выходные данные : Москва: Мир, 1987 Колич.характеристики :469 с.: табл., ил.; 22 см Примечания : Библиография в конце глав. - Предметно-именной указатель: с. 463-466. - Авторы указаны на обороте титульного листа Цена : 3.40, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: Микроэлектроника-- СБИС Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): сбис--травление--плазменная обработка материалов Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Айнспрук, Норман \ред.\; Браун, Д. \ред.\; Золотарев, Ю. М. \пер.\; Юдин, В. В. \пер.\