Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/М 54 Заглавие : Металлургия в электронике: Сборник статей : Пер. с англ. Выходные данные : Москва: Металлургия, 1970 Колич.характеристики :272 с.: ил.; 23см Цена : 1.34, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: Металлургия-- Электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): термодинамика--химический--перенос--твердое--вещество--реакции--легирования--рост кристаллов--газовая--фаза--эпитаксия--монокристаллические--слои Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Рябцева, Н.Г. \ред.\; Кузнецов, Ф.А.