Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/М 80 Автор(ы) : Моряков О.С. Заглавие : Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве : учеб. пособие Выходные данные : Москва.: Высшая школа, 1974 Колич.характеристики :141 с.: ил; 22.5см Серия: Профтехобразование. Полупроводники Примечания : Библиогр.: с. 139 Цена : 0.23, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: Полупроводники-- Производство-- Учебники и пособия Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1)