Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/П 58 Автор(ы) : Попов, Виктор Кузьмич, Ячменев, Станислав Николаевич Заглавие : Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии : материал технической информации Выходные данные : Москва: Радио и связь, 1985 Колич.характеристики :127 с.: ил; 21 см Серия: Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры Примечания : Библиогр.: с. 124 - 126 Цена : 0.45, 0.45, УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: радиоаппаратура (радиоэлектронная аппаратура) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронные схемы интегральные--производство--механизация--электронно-ионная технология Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Ячменев, Станислав Николаевич; Ячменёв, Станислав Николаевич