Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/П 73 Автор(ы) : Пресс, Феликс Павлович Заглавие : Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов : научное издание Выходные данные : Москва: Энергия , 1968 Колич.характеристики :200 с.: ил.; 21 см Примечания : Библиогр.: с. 191 - 199 Цена : 0.79, 0.79, УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: полупроводниковые приборы Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): фотолитография--полупроводниковые приборы--производство Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1)