Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/М 80 Автор(ы) : Моряков, Олег Сергеевич Заглавие : Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства : [учебник для средних профессионально-технических училищ] . -Издание третье, переработанное и дополненное Выходные данные : Москва: Высшая школа, 1981 Колич.характеристики :336 с.: ил.; 22 см Цена : 0.80, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: Полупроводниковые приборы-- Производство Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводниковые приборы--технологическое оборудование--полупроводниковое машиностроение Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1)