Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/Г 46 Автор(ы) : Гиваргизов, Евгений Инвиевич Заглавие : Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники : научное издание Выходные данные : Москва: Наука , 1988 Колич.характеристики :176 с.: ил.; 20 см Серия: Проблемы науки и технического прогресса Примечания : Библиогр.: с. 158 - 176 ISBN, Цена 5-02-013845-2: 1.90, р. УДК : 6П2.151 Предметные рубрики: Радиоаппаратура (радиоэлектронная аппаратура) Экземпляры :ТО(1) Свободны : ТО(1) Доп.точки доступа: Велихов, Е. П. \авт. предисл.\